全球溅射靶材市场及发展趋势

• 作者: 杨邦朝 胡永达 蒋明
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 靶材 市场 产品
• 年，卷（期）: 2002,（6）
• 所属期刊栏目: 科技动态
• 页码范围: 29-31
• 页数: 3页
• 分类号: TB43
• 字数: 3099字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2002.06.012

摘要

介绍了全球靶材市场的概况和靶材的发展趋势.亚洲的一些国家和地区将成为靶材需求的新增长点,是未来靶材市场的重心.硅圆晶片、平面显示器和存储技术是靶材应用的主要领域,随着下游产品向细线条、大面积方向发展,对靶材品质提出了更高纯度和更大面积的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨邦朝	电子科技大学微电子与固体电子学院	253	3422	31.0	49.0
2	胡永达	电子科技大学微电子与固体电子学院	61	1556	20.0	39.0
3	蒋明	电子科技大学微电子与固体电子学院	25	131	7.0	11.0