GIC4117 2×1.7MV串列加速器高能注入靶室的改进

• 作者: 王广甫 董平
• 来源期刊: 北京师范大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 高能离子注入靶室 双机械扫描 10 cm(4 in) Si片 注量控制
• 年，卷（期）: 2002,（5）
• 页码范围: 628-631
• 页数: 4页
• 分类号: TL503.92
• 字数: 2985字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0476-0301.2002.05.011

摘要

通过更换丝杠和更新电机控制系统增大了靶盘纵向扫描范围,解决了扫描过程中纵向电机经常停转问题,并使靶室可装载10 cm(4 in)片子;通过隔离外界干扰电信号、精确控制扫描面积和对二次电子抑制电极的改进使注量测量误差达到了实验要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王广甫	北京师范大学分析测试中心	45	220	7.0	13.0
2	董平	北京师范大学分析测试中心	2	4	1.0	2.0