交流量热法测量SiO2薄膜的热扩散率

• 作者: 唐祯安 陈海军 马灵芝
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 交流量热法 薄膜 热扩散率
• 年，卷（期）: 2002,（5）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 539-541
• 页数: 3页
• 分类号: O484.5|TK121|TK124
• 字数: 2073字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2002.05.030

摘要

介绍了交流量热法测量薄膜热扩散率的原理和系统组建.用脉宽为纳秒级的超短激光脉冲作为热源,测量了Si衬底上厚度为100nm和500nm的SiO2薄膜水平方向上的热扩散率.实验结果表明该结构的热扩散率比SiO2体材料的要小,并且随着SiO2层厚度的减小,热扩散率也减小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐祯安	大连理工大学电子系	142	1281	17.0	29.0
2	马灵芝	大连理工大学电子系	21	156	8.0	11.0
3	陈海军	大连理工大学电子系	1	8	1.0	1.0