光激光拾自谐振传感器的光学特性及优化设计

• 作者: 刘君华 朱长纯 李炳乾
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 自谐振 菲涅耳系数矩阵 光电激励
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 光传感器
• 页码范围: 79-82
• 页数: 4页
• 分类号: TP21
• 字数: 2534字
• 语种: 中文

摘要

建立了光激、光拾自谐振多晶硅微机械传感器的多层膜系模型,利用该模型对传感器的光学特性进行了理论分析,并对传感器谐振微梁厚度和空腔高度进行了优化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱长纯	西安交通大学电信学院电子工程系	215	2372	22.0	41.0