Ti/Ag及Ag薄膜的应力状态及其对摩擦学性能的影响

• 作者: 于翔 孙嘉奕 孙晓军 翁立军
• 来源期刊: 机械工程材料
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 应力 摩擦学性能
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 新材料 新工艺
• 页码范围: 29-31,45
• 页数: 4页
• 分类号: TH117.1
• 字数: 2690字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-3738.2002.01.008

摘要

制备了具有不同应力状态的Ti/Ag双层薄膜及Ag单层膜.考察了两类薄膜的内应力状态及其对薄膜摩擦学性能的影响.试验结果表明:薄膜的应力状态对其摩擦学性能可产生明显影响.Ti/Ag双层薄膜的应力变化及其对摩擦学性能的影响比单层膜更为复杂.可以通过控制Ti中间层的膜厚来得到有利于提高薄膜摩擦学性能的应力状态.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙晓军	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	28	303	11.0	16.0
2	翁立军	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	19	212	7.0	14.0
3	孙嘉奕	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	14	174	6.0	13.0
4	于翔	中国地质大学表面工程实验室	15	140	8.0	11.0