相位测量轮廓术中探测器非线性误差的分析

• 作者: 周利兵 王立无 苏显渝
• 来源期刊: 激光杂志
• 学科: 工学
• 关键词: 相位测量轮廓术 相移算法 非线性误差分析
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: 实验技术与装置
• 页码范围: 19-21
• 页数: 3页
• 分类号: TN2
• 字数: 2821字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0253-2743.2002.03.007

摘要

在相位测量轮廓术(PMP)中,探测器的非线性响应是导致测量误差的重要因素,本文对该误差进行了理论分析和计算机模拟,比较了各种相移算法对这一误差的抑制能力,数值模拟与理论分析的结果一致.本文可为实际应用中合理地选择算法提供理论依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苏显渝	四川大学光电系	258	3656	33.0	46.0
2	周利兵	四川大学光电系	4	84	4.0	4.0
3	王立无	四川大学光电系	2	73	2.0	2.0