以非晶碳作硅基红外增透膜的实验研究

• 作者: 杨国伟 杨益民 蔡孟秋 郭建
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 激光烧蚀 非晶碳膜 红外增透
• 年，卷（期）: 2002,（11）
• 所属期刊栏目: 薄膜光学
• 页码范围: 1296-1299
• 页数: 4页
• 分类号: O484.5
• 字数: 3012字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-2239.2002.11.004

摘要

在室温下,用激光烧蚀石墨靶方法在单晶硅衬底表面沉积了不同厚度的非晶碳膜.对膜进行了表面形貌观察,测试并分析了膜的拉曼散射光谱和傅里叶变换红外光谱.发现膜含微晶石墨杂质较少,观察到1200 cm-1附近的非晶金刚石拉曼峰,膜层在红外的光透过率高,在硅衬底上适宜于制作波长短于8μm的红外增透膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨国伟	湘潭大学物理系	28	144	6.0	11.0
2	郭建	湘潭大学物理系	44	134	6.0	9.0
3	杨益民	湘潭大学物理系	11	11	3.0	3.0
4	蔡孟秋	湘潭大学物理系	9	15	3.0	3.0