微机械薄膜应力的在线测试结构

• 作者: 刘祖韬 姜岩峰 黄庆安
• 来源期刊: 测控技术
• 学科: 工学
• 关键词: 在线 应力 微结构 薄膜 测量
• 年，卷（期）: 2002,（7）
• 所属期刊栏目: 仪表与传感器
• 页码范围: 6-9
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.07
• 字数: 3113字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-8829.2002.07.003

摘要

微机械薄膜应力对MEMS器件有较大的影响,因此应力测量对于工艺监控和MEMS器件设计是必须的.介绍了微机械薄膜应力的在线测试结构与方法,详细分析了各种方法的特点.对于MEMS薄膜应力测试结构设计有一定的参考价值.