关于半导体行业废气处理的解决方案

• 作者: Dr.Frenzel 杨昕 高艾伟
• 来源期刊: 集成电路应用
• 学科: 经济
• 关键词: 半导体 废气 ESCAPE
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 设备与材料
• 页码范围: 43-45
• 页数: 3页
• 分类号: F4
• 字数: 3331字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-2583.2002.01.012

摘要

本文介绍在半导体行业中所产生废气的危害性及其处理方案,并且着重介绍德国DAS公司的领先技术和产品.