VO2薄膜γ辐照过程的变价和退火现象

• 作者: 何捷 卢勇 卢铁城 林理彬
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: VO2薄膜 γ辐照 变价 退火效应
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 73-75
• 页数: 3页
• 分类号: TQ135.1|O484.5
• 字数: 3535字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2002.01.025

摘要

对VO2薄膜进行不同剂量的γ辐照处理,利用SEM和xPS对辐照前后的薄膜进行分析,发现γ辐照诱导V离子出现不同价态之间的转变现象,并且价态变化的程度和方向与辐照剂量有关;较低剂量γ辐照在薄膜表面造成显著损伤,当辐照剂量增大时,γ射线在VO2薄膜中产生退火效应,使薄膜表面质量得到改善.辐照后的VO2薄膜光透射特性测试结果与上述结论相合,对辐照诱导的价态变化和退火效应的机理进行了讨论.