原子力显微镜用于软X射线接触成像的研究

• 作者: 张新夷 张玉煊 徐至展 蒋诗平 陈建文 高鸿奕
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 原子力显微镜 软X射线 接触成像
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 简讯
• 页码范围: 118-120
• 页数: 3页
• 分类号: O434.1
• 字数: 1411字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-2239.2002.01.025

摘要

论述了在接触显微成像技术中,后续放大设备对分辨率的影响,并用实验方法比较了采用光学显微镜和原子力显微镜阅读并放大显微图的结果,表明采用原子力显微镜放大显微图是一种较为理想的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐至展	中国科学院上海光学精密机械研究所	163	1107	19.0	24.0
2	高鸿奕	中国科学院上海光学精密机械研究所	26	95	6.0	8.0
3	陈建文	中国科学院上海光学精密机械研究所	38	164	8.0	10.0
4	张新夷	中国科技大学国家同步辐射实验室	3	10	2.0	3.0
5	张玉煊	复旦大学物理系	1	0	0.0	0.0