哈特曼夏克传感器的泽尼克模式波前复原误差

• 作者: 姜文汉 李新阳
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 哈特曼夏克传感器 模式波前复原 泽尼克多项式
• 年，卷（期）: 2002,（10）
• 所属期刊栏目: 光学元件
• 页码范围: 1236-1240
• 页数: 5页
• 分类号: TB95
• 字数: 3656字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-2239.2002.10.016

摘要

利用哈特曼夏克传感器测量圆孔径内波像差时,通常使用泽尼克模式复原算法.推导了一般情况下哈特曼夏克传感器泽尼克模式波前复原误差的计算公式.用哈特曼夏克传感器测量一个像差板的随机静态像差,通过与ZYGO干涉仪的测量结果比较,得到不同泽尼克模式复原阶数下的波前复原误差的实验结果,并与理论计算结果进行了对比.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李新阳	中国科学院光电技术研究所自适应光学研究室	84	1029	16.0	30.0
2	姜文汉	中国科学院光电技术研究所自适应光学研究室	109	2010	27.0	39.0