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铟镓氮薄膜的光电特性
铟镓氮薄膜的光电特性
作者:
刘祥林
李昱峰
汪度
王占国
王晓晖
袁海荣
陆大成
陆沅
陈振
韩培德
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
InGaN
MOVPE
PL
摘要:
用金属有机物气相外延设备,在氮化镓/蓝宝石复合衬底上快速外延生长铟镓氮薄膜,并对其进行了X射线三晶衍射、光致发光、反射光谱及霍尔测量等实验测试.确定该薄膜为单晶,其中In组分可以从0增加到0.26;在光致激发下发光光谱为单峰,且峰值波长在360~555nm范围内可调;其发光机理被证实为膜内载流子经带隙跃迁而直接复合;并具有很高的电子浓度.但InGaN薄膜的结晶质量却随着In含量的增加而变差.
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文献信息
篇名
铟镓氮薄膜的光电特性
来源期刊
半导体学报
学科
工学
关键词
InGaN
MOVPE
PL
年,卷(期)
2002,(2)
所属期刊栏目
研究论文
研究方向
页码范围
143-148
页数
6页
分类号
TN304.2+6
字数
3823字
语种
中文
DOI
10.3321/j.issn:0253-4177.2002.02.006
五维指标
传播情况
被引次数趋势
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
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(0)
共引文献
(0)
参考文献
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2002(0)
参考文献(0)
二级参考文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
InGaN
MOVPE
PL
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
半导体学报(英文版)
主办单位:
中国电子学会和中国科学院半导体研究所
出版周期:
月刊
ISSN:
1674-4926
CN:
11-5781/TN
开本:
大16开
出版地:
北京912信箱
邮发代号:
2-184
创刊时间:
1980
语种:
eng
出版文献量(篇)
6983
总下载数(次)
8
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
国家重点基础研究发展计划(973计划)
英文译名:
National Basic Research Program of China
官方网址:
http://www.973.gov.cn/
项目类型:
学科类型:
农业
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