硅微机械加工光波导压力传感器的设计

• 作者: 胡国清 许高攀
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光波导压力传感器 硅微机械法 结构 原理 特性
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 前沿技术
• 页码范围: 60-62
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 1954字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2002.01.019

摘要

随着波导材料的研究和进展,采用新的波导材料设计出了一种波导式压力传感器,就光波导压力传感器的原理和特性作了一个简要阐述,对它的工艺流程作了详细的描述.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡国清	厦门大学机电工程系	61	929	15.0	29.0
2	许高攀	厦门大学机电工程系	6	86	5.0	6.0