利用响应表面方法的器件稳健性设计

• 作者: 张文俊 杨之廉 谢晓锋 鲁勇
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 响应表面方法 实验设计 器件稳健性设计
• 年，卷（期）: 2002,（8）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 817-824
• 页数: 8页
• 分类号: TN402
• 字数: 1003字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2002.08.007

摘要

器件稳健性设计本质上是一个多个目标的优化问题.将实验设计和响应表面方法相结合可用来满足减少所需的TCAD模拟次数的强烈需求.然而对一些非线性问题,RSM模型的误差可能会大到影响设计结果的有效性.为找到可行空间,提出了一种考虑RSM模型误差时,面向目标的多代设计方法.通过在由当前代中的RSM模型结果所得到的有希望空间中增加设计,使得模型误差减小并得到可行空间.对FIBMOS例子的结果显示本方法是有效的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢晓锋	清华大学微电子学研究所	13	985	5.0	13.0
2	张文俊	清华大学微电子学研究所	30	1031	6.0	30.0
3	杨之廉	清华大学微电子学研究所	27	1025	6.0	27.0
4	鲁勇	清华大学微电子学研究所	10	33	4.0	5.0