模具超镜面表面电弧离子镀TIN薄膜工艺研究

• 作者: 何文瀚 蔡满
• 来源期刊: 机电工程技术
• 学科: 工学
• 关键词: 超镜面 电弧离子镀 颗粒 TIN薄膜
• 年，卷（期）: 2002,（z1）
• 所属期刊栏目: 经验交流
• 页码范围: 180-181
• 页数: 2页
• 分类号: TQ153
• 字数: 2582字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-9492.2002.z1.090

摘要

主要研究了阴极电弧靶电流大小,靶表面电磁场分量,以及脉冲偏压形式对TIN薄膜表面颗粒(液滴)的影响.通过优化镀膜工艺参数,可以有效地减小薄膜表面液滴的数量和尺寸,提高TIN薄膜质量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何文瀚		4	19	2.0	4.0
2	蔡满		3	7	1.0	2.0