雾化热解法制备ZnO薄膜及其光电性能

• 作者: 刘坤 叶志镇 季振国 杨成兴 樊瑞新
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: ZnO薄膜 雾化裂解 X射线衍射分析 电学及光学性能
• 年，卷（期）: 2002,（10）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1083-1087
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.2+1|O484.1
• 字数: 3090字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2002.10.015

摘要

采用超声雾化技术,以醋酸锌水溶液为源物质,在加热的玻璃衬底上生长了ZnO薄膜,并研究了衬底温度等因素对薄膜结构及其光、电性能的影响.结果表明其为六方晶体(纤锌矿)结构,在适当的条件下,可以生长出具有较强c轴取向的ZnO薄膜,所得到的ZnO薄膜具有低达7.68×1010cm-3的载流子浓度,这对实现ZnO的p型掺杂具有重要意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	季振国	浙江大学硅材料国家重点实验室	48	467	12.0	19.0
2	刘坤	浙江大学硅材料国家重点实验室	12	201	6.0	12.0
3	叶志镇	浙江大学硅材料国家重点实验室	155	1638	21.0	35.0
4	樊瑞新	浙江大学硅材料国家重点实验室	6	60	5.0	6.0
5	杨成兴	浙江大学硅材料国家重点实验室	4	91	3.0	4.0