Au/NiCr/Ta和Au/NiCr多层金属膜的划痕特征载荷

• 作者: 唐武 徐可为 李弦 王平 马幼平
• 来源期刊: 金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: 划痕法 金属薄膜 临界载荷
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 页码范围: 407-410
• 页数: 4页
• 分类号: TG113.25
• 字数: 2243字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0412-1961.2002.04.016

摘要

采用摩擦力和声发射两种模式同时监测的划痕法研究了Au/NiCr/Ta和Au/NiCr多层金属薄膜的临界载荷Lc,并与TiN硬质薄膜进行了对比.实验结果表明:摩擦力和声发射模式均能反映出压头进入不同金属膜层时的变化,在单一金属薄膜层中两者均无大的变化.对应实验范围内不同的沉积温度,拐点特征载荷值基本不受其影响,而主要取决于多层膜的层厚和层数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐可为	西安交通大学金属材料强度国家重点实验室	238	3333	30.0	44.0
2	唐武	西安交通大学金属材料强度国家重点实验室	9	82	6.0	9.0
3	王平		6	48	4.0	6.0
4	李弦		5	48	4.0	5.0
5	马幼平	西安交通大学金属材料强度国家重点实验室	11	125	6.0	11.0