Fe-N薄膜的时效研究

• 作者: 吴萍 姜恩永 许英华 赵慈
• 来源期刊: 金属功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 铁氮薄膜 时效研究
• 年，卷（期）: 2002,（6）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 24-25
• 页数: 2页
• 分类号: TM271|O484.4
• 字数: 521字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-8192.2002.06.008

摘要

本文利用对向靶反应溅射法制备Fe-N膜,本底真空度为6×10-4Pa,溅射功率为160W,基底温度约为180℃,再经180℃退火处理.所得样品的结构由X射线衍射分析(XRD)得到,并对Fe-N膜时效性进行了跟踪实验.结果表明,制备的Fe-N膜在室温条件下放置半年以上,其膜的结构及各相含量基本未变.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姜恩永	天津大学理学院应用物理学系	44	225	8.0	14.0
2	许英华	天津大学理学院应用物理学系	4	1	1.0	1.0
3	赵慈	天津大学理学院应用物理学系	11	64	5.0	8.0
4	吴萍	天津大学理学院应用物理学系	23	263	9.0	16.0