射频溅射FeTaN纳米晶软磁薄膜结构和磁性

• 作者: 杨正 白建民 谢天 郑代顺 魏福林
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 纳米晶 软磁性 非晶态
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质：电子结构、电学、磁学和光学性质
• 页码范围: 908-912
• 页数: 5页
• 分类号: O4
• 字数: 3745字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2002.04.039

摘要

用射频反应溅射制备了FeTaN纳米晶软磁薄膜.研究了薄膜结构和磁性与制备条件的依赖关系.研究发现,当Ta的含量较高时,在N2+Ar混合气氛中易形成沉积态薄膜的非晶结构.适当的热处理后,α-Fe纳米晶从中晶化生成.薄膜显示出优良的软磁特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	白建民	兰州大学磁性材料研究所	14	138	5.0	11.0
2	谢天	兰州大学磁性材料研究所	4	20	3.0	4.0
3	魏福林	兰州大学磁性材料研究所	27	223	7.0	14.0
4	杨正	兰州大学磁性材料研究所	21	226	8.0	14.0
5	郑代顺	兰州大学磁性材料研究所	8	80	5.0	8.0