透射式GaAs光电阴极AlGaAs/GaAs外延层内应力的种类及其表征与测量

• 作者: 侯洵 张景文 李晓峰 高鸿楷
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 工学
• 关键词: GaAs/AlGaAs 光电阴极 X射线衍射 应力 外延
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 光电子学
• 页码范围: 88-92
• 页数: 5页
• 分类号: TN2
• 字数: 3657字
• 语种: 中文

摘要

本文介绍了透射式GaAs光电阴极AlGaAs窗层和GaAs光电发射外延层内应力的种类及其表征方法和测量方法,另外还给出了相应的实例.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李晓峰	中国科学院西安光学精密机械研究所光电子学研究室	121	1599	22.0	34.0
2	高鸿楷	中国科学院西安光学精密机械研究所光电子学研究室	17	110	5.0	10.0
3	张景文	中国科学院西安光学精密机械研究所光电子学研究室	13	79	4.0	8.0
4	侯洵	中国科学院西安光学精密机械研究所光电子学研究室	92	1070	17.0	28.0