Ti合金化DLC膜的结构和力学性能

• 作者: Rogachev A.V 江晓红 金元生 陆小华
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 物理学
• 关键词: DLC膜 薄膜沉积 性能分析
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 771-776
• 页数: 6页
• 分类号: O484
• 字数: 2517字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324X.2002.04.021

摘要

在一台y B H ИП A-1型双激发源等离子弧薄膜沉积装置上制取Ti合金化DLC膜,用纳米硬度计、显微硬度计、原子力显微镜以及X射线衍射仪和光电子能谱仪等手段对薄膜的力学性能和结构进行了分析和测定.摩擦磨损试验在一台球-盘滑动磨损试验机上进行.比较了不同钛合金化程度的DLC膜及热处理前后的性能变化.结果表明,薄膜的力学性能与Ti含量有非单值关系,但摩擦系数随Ti含量增加而升高;热处理后薄膜显微硬度显著升高的原因是生成了碳化钛硬化相.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陆小华	南京工业大学化工学院	182	1970	24.0	34.0
2	金元生	清华大学摩擦学国家重点实验室	42	526	13.0	21.0
3	江晓红	南京工业大学化工学院	4	55	3.0	4.0