叉指式微加速度计的静电-机械耦合场分析

• 作者: 何晓平 苏伟 郑英彬
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微加速度计 有限元法(FEM) 耦合场分析
• 年，卷（期）: 2002,（5）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 14-16，18
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 3181字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2002.05.005

摘要

为了对微加速度计进行静电-机械耦合场分析,利用ANSYS软件及它的编程语言APDL实现了有限元耦合场分析.作为实例,选择一种尺寸的叉指式微加速度计,分析了它的灵敏度,其结果同理论值基本一致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苏伟	中国工程物理研究院电子工程研究所	92	541	12.0	16.0
2	何晓平	中国工程物理研究院电子工程研究所	29	177	8.0	11.0
3	郑英彬	中国工程物理研究院电子工程研究所	22	115	7.0	9.0