酸催化正硅酸乙脂溶胶-凝胶二氧化硅薄膜的制备

• 作者: 姚熹 张良莹 李振荣 殷明志
• 来源期刊: 西安交通大学学报
• 关键词: 正硅酸乙脂 溶胶-凝胶工艺 二氧化硅 薄膜
• 年，卷（期）: 2002,（8）
• 页码范围: 847-850，880
• 页数: 5页
• 分类号: TM215
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-987X.2002.08.019

摘要

针对正硅酸乙脂(TEOS)溶胶-凝胶工艺制备的二氧化硅凝胶薄膜在热处理过程中出现的龟裂现象,通过控制TEOS水解条件,使反应体的最初水解中间体以任意三维方向线状聚合,再水解时能形成线状-粒状结构二氧化硅溶胶.水解体系中引入的有机添加剂丙三醇与水解中间体结合后,改变了二氧化硅的聚集状态,而聚乙烯醇使二氧化硅溶胶具有无机-有机网状结构.通过该工艺制备的二氧化硅溶胶易于成膜;所形成的二氧化硅薄膜结构均匀,厚度可控,表面致密,其折射率为1.543～1.580,热导率为0.3 W/(m*K).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张良莹	西安交通大学电子材料与器件研究所	59	646	15.0	22.0
2	姚熹	西安交通大学电子材料与器件研究所	172	1611	18.0	30.0
3	李振荣	西安交通大学电子材料与器件研究所	19	183	6.0	13.0
4	殷明志	西安交通大学电子材料与器件研究所	4	176	4.0	4.0