Au/NiCr/Ta多层金属膜择优取向与残余应力的关系

• 作者: 唐武 徐可为 李弦 王平
• 来源期刊: 金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: Au/NiCr/Ta膜 择优取向 残余应力
• 年，卷（期）: 2002,（9）
• 页码范围: 932-935
• 页数: 4页
• 分类号: TG115.9|TG174
• 字数: 3443字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0412-1961.2002.09.007

摘要

研究了Au/NiCr/Ta多层金属膜的择优取向、残余应力以及它们之间的关系.结果表明,在实验范围内,残余应力随沉积温度变化不大,沉积态薄膜均表现为残余拉应力,经400℃Ar气中退火60 min转变为压应力.相应出现(111)与(200)衍射峰相对强度比值减小.Au(200)取向增加时,倾向为压应力,择优取向最大时有最低的平均残余压应力;Au(111)择优取向最大时有最高的平均残余拉应力;说明Au膜的择优取向和残余应力状态存在一定的联系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐可为	西安交通大学金属材料强度国家重点实验室	238	3333	30.0	44.0
2	唐武	西安交通大学金属材料强度国家重点实验室	9	82	6.0	9.0
3	王平		6	48	4.0	6.0
4	李弦		5	48	4.0	5.0