内表面粗糙度在线测量仪

• 作者: 周肇飞 徐彧 徐继麟
• 来源期刊: 激光杂志
• 学科: 工学
• 关键词: 光散射 表面粗糙度 在线检测 半导体激光器
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 所属期刊栏目: 实验装置与元件
• 页码范围: 52-54
• 分类号: TG84
• 字数: 2506字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0253-2743.2002.02.016

摘要

为满足军工产品的在线测量需要,开发了一种基于光散射原理的便携式内表面粗糙度在线测量仪.它利用半导体激光器为光源,光电二极管阵列接收与表面粗糙度具有对应关系的散射光带.由于采用了远心光路的设计和对光源进行了电光调制成功地提高了仪器的测量精度和抗干扰性能.仪器的测量范围Ra:0.005～1.6μm,测量相对误差δ＜5%,测量重复性优于±2%,适合对多种机加工形成的零件的内、外表面进行非接触在线检测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐继麟	电子科技大学电子工程学院	38	518	14.0	21.0
2	徐彧	电子科技大学电子工程学院	5	88	4.0	5.0
3	周肇飞	四川大学激光应用研究所	37	432	12.0	20.0