多晶硅薄膜晶体管源漏轻掺杂结构的优化设计

• 作者: 李牧菊 杨柏梁
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜晶体管 热电子发射
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 414-418
• 页数: 5页
• 分类号: TN32
• 字数: 2729字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2002.04.016

摘要

应用场助热电子发射(thermionic field emission)模型合理地分析了多晶硅薄膜晶体管中显著漏电流与器件参数及电极电压等因素间的内在关系,讨论了源漏轻掺杂结构在抑制漏电流方面的物理机制,并给出轻掺杂结构参数(如轻掺杂浓度、轻掺杂区域长度等)的优化设计,为多晶硅薄膜晶体管的器件设计提供了可靠的理论依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨柏梁	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	12	90	7.0	9.0
2	李牧菊	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	5	16	2.0	4.0