高重复率紧凑型等离子体软X射线源

• 作者: M.H.Liu Paul Lee Sing Lee 张贵新 王新新 罗承沐
• 来源期刊: 高电压技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻 等离子体焦点 X射线
• 年，卷（期）: 2002,（z1）
• 所属期刊栏目: 高电压新技术及应用
• 页码范围: 32-34
• 页数: 3页
• 分类号: O536|TM89
• 字数: 2351字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-6520.2002.z1.014

摘要

我们研制了一套以微电子光刻为应用背景的紧凑型高重复率、高性能、工作气体为氖气的等离子焦点装置 (NX2) 做为软X射线源.其储能电容由四组电容器组成.每一组又包括12个并联的0.6 μF电容器,共用一个轨道式开关.充电电压为11.5 kV时,其峰值电流可达400 kA.该装置中采用水冷式电极与真空室设计,以16 Hz 重复率连续运行几分钟产生300 W的软X射线.初步的光刻实验结果表明连续放电300次便可取得足够软X射线暴光量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王新新	清华大学电机工程与应用电子技术系	85	1495	19.0	36.0
2	张贵新	清华大学电机工程与应用电子技术系	76	1111	16.0	30.0
3	罗承沐	清华大学电机工程与应用电子技术系	71	2442	31.0	47.0