微机械微波/射频开关的制备和功能测量研究

• 作者: 忻佩胜 胡梅丽 茅惠兵 赖宗声
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械 微波/射频开关 悬臂梁 共平面波导
• 年，卷（期）: 2002,（11）
• 所属期刊栏目: 专题报道
• 页码范围: 11-14
• 页数: 4页
• 分类号: TN63
• 字数: 2715字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2002.11.004

摘要

讨论了微机械微波/射频开关的原理、制备工艺和功能测试.微机械接触式微波/射频开关的基本结构是微波共平面波导,在制备工艺中首先考虑的是工艺兼容性,为此选择以PECVD生长的氮化硅为悬臂梁,聚酰亚胺为牺牲层.功能测试表明,该工艺制备的微机械开关的执行电压只有25V,优于同类微机械开关的指标,同时它具有良好的响应特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	忻佩胜	华东师范大学电子科学技术系	16	115	7.0	10.0
2	赖宗声	华东师范大学电子科学技术系	136	779	13.0	18.0
3	茅惠兵	华东师范大学电子科学技术系	12	117	6.0	10.0
4	胡梅丽	华东师范大学电子科学技术系	3	54	3.0	3.0