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摘要:
采用Mo离子注入工艺对YG6硬质合金基体表面进行处理,用微波等离子体CVD(MPCVD)法沉积金刚石涂层,研究了Mo离子注入工艺对金刚石涂层附着性能的影响.结果表明,Mo离子注入后,硬质合金基体表面的化学成分发生了明显变化;采用适当剂量的Mo离子注入基体,可使CVD金刚石涂层的附着性能显著提高.
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文献信息
篇名 Mo离子注入对金刚石涂层附着性能的影响
来源期刊 物理学报 学科 物理学
关键词 金刚石涂层 Mo离子注入 硬质合金基体 附着性能
年,卷(期) 2002,(2) 所属期刊栏目 凝聚物质:结构、热学和力学性质
研究方向 页码范围 347-350
页数 4页 分类号 O4
字数 2617字 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:1000-3290.2002.02.027
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 秦广雍 郑州大学物理工程学院 184 2102 22.0 33.0
2 姚宁 郑州大学物理工程学院 122 692 12.0 18.0
3 张兵临 郑州大学物理工程学院 95 608 12.0 18.0
4 杨仕娥 郑州大学物理工程学院 68 513 12.0 18.0
5 马丙现 郑州大学物理工程学院 19 120 6.0 10.0
6 李会军 郑州大学物理工程学院 7 70 5.0 7.0
7 王小平 郑州大学物理工程学院 22 77 4.0 8.0
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