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摘要:
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50型MEVVA源离子注入机
材料表面改性
MEVVA源
离子注入机
串列加速器-离子注入机-透射电镜联机系统的建立
原位透射电子显微镜
加速器
联机装置
离子注入
批处理离子注入机台锥角效应及注入角度对产品的影响
批处理离子注入机
锥角效应
沟道效应
均匀性
离子加速器和离子注入机建设项目环境影响评价
离子加速器
离子注入机
环境影响评价
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 金属工业离子注入机
来源期刊 新技术新工艺 学科
关键词
年,卷(期) 2002,(1) 所属期刊栏目 军工民品科技信息
研究方向 页码范围 47
页数 1页 分类号
字数 语种 中文
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新技术新工艺
月刊
1003-5311
11-1765/T
大16开
北京车海淀区车道沟10号院科技1号楼804室
2-396
1979
chi
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8183
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16
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