激光三角扫描法检测微刻槽

• 作者: 孙宏凯 牛连杰 王彦勋
• 来源期刊: 计量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光束束径 光点细分 微刻槽 腐蚀槽
• 年，卷（期）: 2002,（6）
• 所属期刊栏目: 测量与设备
• 页码范围: 11-13
• 页数: 3页
• 分类号: TN24
• 字数: 1277字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0771.2002.06.004

摘要

本文介绍一种激光三角扫描法微刻槽检测系统.该系统以激光三角法为基础,采用激光光斑能量细分方法,有效地解决了激光三角法由于光斑直径过大而引起的横向分辨力不足的问题,并容易做到微型化,适用对任意非镜面材料表面划痕的在线测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王彦勋		11	44	5.0	6.0
2	孙宏凯		21	37	3.0	4.0
3	牛连杰		12	23	3.0	3.0