氧气氛低温退火Pt/Ba0.8 Sr0.2TiO3/Pt引起的低频介电弛豫效应

• 作者: 徐闰 沈明荣 甘肇强 葛水兵 董正高
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 脉冲激光沉积, 介电弛豫, 动态随机存储器
• 年，卷（期）: 2002,（12）
• 所属期刊栏目: 物理学交叉学科及有关科学技术领域
• 页码范围: 2896-2900
• 页数: 5页
• 分类号: O4
• 字数: 2482字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2002.12.041

摘要

研究了在不同温度区间氧气氛和氮气氛退火后处理对Pt/Ba0.8Sr0.2TiO3/Pt介电特性的影响.经过高温550℃氮气退火处理后,再放入350℃的氧气中退火,发现样品的介电特性出现了非常明显的低频弛豫现象, 并且这种低频弛豫现象在350℃的氮气中退火后将会消失.通过在出现低频弛豫现象的样品的上下电极加一偏压,可以发现低频弛豫现象更加明显,并且在撤消偏压后这种增强将会逐渐减弱,直至最终恢复到偏压前的弛豫状态.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈明荣	苏州大学物理系	24	104	6.0	8.0
2	董正高	苏州大学物理系	1	2	1.0	1.0
3	徐闰	苏州大学物理系	1	2	1.0	1.0
4	甘肇强	苏州大学物理系	15	97	6.0	9.0
5	葛水兵	苏州大学物理系	14	103	6.0	10.0