微电子机械系统(MEMS)及其应用的研究

• 作者: 丁国清 徐小云 颜国正
• 来源期刊: 测控技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 军事应用 微机械
• 年，卷（期）: 2002,（8）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 1-5
• 页数: 5页
• 分类号: TH6
• 字数: 5848字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-8829.2002.08.001

摘要

微型机电系统技术是一个新兴的技术领域.本文介绍了微电子机械系统(MEMS)的特点和关键技术,讨论了MEMS的应用,并阐述了MEMS的发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	颜国正	上海交通大学信息检测技术及仪器系	340	4219	33.0	49.0
2	丁国清	上海交通大学信息检测技术及仪器系	118	1385	19.0	32.0
3	徐小云	上海交通大学信息检测技术及仪器系	14	447	10.0	14.0