玻璃钝化管芯在切割中的改进及冷冻裂片的应用

• 作者: 毕建伟
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 划片:玻璃钝化 冷冻裂片:化学汽相沉积
• 年，卷（期）: 2002,（8）
• 所属期刊栏目: 管芯设计
• 页码范围: 67-67，70
• 页数: 2页
• 分类号: TN305.1
• 字数: 716字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2002.08.020

摘要

介绍了美国1006A型切割机切割玻璃钝化管芯中的改进及用制冷系统处理管芯的应用.通过技术论证和实验证明,设备改进后,产品的质量和产量明显提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	毕建伟		1	0	0.0	0.0