以SiO2/Si为衬底的Ba1-xLaxNbyTi1-yO3薄膜的敏感特性

• 作者: 曾绍鸿 李斌 李观启 黄美浅
• 来源期刊: 华南理工大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 钙肽矿氧化物 钛酸镧钡铌薄膜 光敏特性 热敏特性 湿敏特性
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 页码范围: 13-17
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 854字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-565X.2002.03.004

摘要

通过离子束溅射技术淀积在SiO2/Si衬底上的钛酸镧钡铌膜(Ba1-xLaxNbyTi1-yO3),制成集薄膜电阻和金属-绝缘体-半导体(MIS)电容为一体的传感器.实验结果表明,薄膜电阻在303～673 K温度范围内对可见光和热具有良好的灵敏特性,同时MIS电容对相对湿度有很高的灵敏度.我们测试了此薄膜的光吸收特性,并得到了它的禁带宽度.最后,我们研究了薄膜电阻的阻抗温度频率特性和频率对MIS电容湿敏特性的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李斌	华南理工大学应用物理系	128	542	12.0	17.0
2	李观启	华南理工大学应用物理系	20	44	4.0	5.0
3	黄美浅	华南理工大学应用物理系	22	79	4.0	8.0
4	曾绍鸿	华南理工大学应用物理系	6	8	2.0	2.0