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抗蚀剂填充
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纳米压印
光刻胶
聚焦离子束
纳米孔阵列
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 锁饰盖压印模
来源期刊 机械制造 学科 工学
关键词
年,卷(期) 2002,(7) 所属期刊栏目 工艺装备
研究方向 页码范围 52-52
页数 1页 分类号 TG385.2
字数 554字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1000-4998.2002.07.026
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作者信息
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1 李锦棠 2 0 0.0 0.0
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相关学者/机构
期刊影响力
机械制造
月刊
1000-4998
31-1378/TH
大16开
上海市中兴路960号2号楼415室
4-18
1950
chi
出版文献量(篇)
7796
总下载数(次)
30
总被引数(次)
26616
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