有机薄膜场效应晶体管的研制

• 作者: 王立铎 胡远川 董桂芳 邱勇 高裕弟
• 来源期刊: 科学通报
• 学科: 工学
• 关键词: 有机薄膜晶体管 铜酞菁 聚四氟乙烯
• 年，卷（期）: 2002,（8）
• 所属期刊栏目: 简报
• 页码范围: 580-583
• 页数: 4页
• 分类号: TN3
• 字数: 2860字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0023-074X.2002.08.005

摘要

采用聚四氟乙烯充当绝缘材料, 利用全蒸镀法制备得到了有机薄膜场效应晶体管. 源极和漏极采用氧化铟锡, 半导体层和绝缘层分别由铜酞菁和聚四氟乙烯充当, 栅极采用银电极. 在利用光刻制备沟道长度为50 μm的源极和漏极后, 依次真空沉积铜酞菁层、聚四氟乙烯层和银层, 得到器件的电子迁移率为1.1×10-6 cm2@(V@s)-1, 开关电流比大于500.