射频/微波MEMS Shunt开关的开启时间研究

• 作者: 朱自强 石艳玲 赖宗声 郭方敏 龙永福
• 来源期刊: 电子学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS开关 开启时间 理论模型 数值计算
• 年，卷（期）: 2002,（8）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 1204-1206
• 页数: 3页
• 分类号: TN304
• 字数: 2004字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0372-2112.2002.08.029

摘要

本文描述了射频/微波MEMS shunt开关的理论模型和数值结论.把可动薄膜的运动近似地模拟为作用在可动薄膜上的变静电力、弹力及空气阻力的单自由度阻尼振动.给出了典型MEMS shunt开关开启时间的数学表达式及数值计算值.根据可动膜厚、材料和几何结构参数不同, 得到了典型的MEMS shunt开关的开启时间大约为1～40 μs.其计算值同文献[4]的值相符得很好.本文还讨论了该理论模型和数值计算的局限性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	石艳玲	华东师范大学电子系	47	205	8.0	12.0
2	朱自强	华东师范大学电子系	40	272	11.0	13.0
3	赖宗声	华东师范大学电子系	136	779	13.0	18.0
4	郭方敏	华东师范大学电子系	14	47	4.0	6.0
5	龙永福	华东师范大学电子系	5	39	4.0	5.0