脉冲高能量密度等离子体表面改性AlN膜的形成和结构

• 作者: 单小鸥 吴杏芳 杨思泽 韦鲲
• 来源期刊: 金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: 脉冲高能量密度等离子体 立方AlN 六方AlN 显微组织
• 年，卷（期）: 2002,（6）
• 页码范围: 652-656
• 页数: 5页
• 分类号: TG17
• 字数: 2556字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0412-1961.2002.06.019

摘要

利用脉冲高能量密度等离子体(PHEDP)表面改性技术,在45号钢、γ不锈钢等试样上获得AlN膜.采用XRD,XPS和TEM等方法研究了改性膜的组织结构.研究表明,改性膜是由10 nm尺寸的AlN相组成,AlN相结构随基体的结构而异,在具有面心立方结构的基体上,形成具有面心立方结构的c-AlN相,而在体心立方的基体上形成六方h-AlN相.从热力学角度,讨论了PHEDP表面改性中AlN形成的特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨思泽	中国科学院物理研究所	34	349	11.0	17.0
2	吴杏芳	北京科技大学材料物理系	27	280	9.0	16.0
3	韦鲲	北京科技大学材料物理系	1	7	1.0	1.0
4	单小鸥	北京科技大学材料物理系	1	7	1.0	1.0