Sb掺杂SrTiO3透明导电薄膜的光电子能谱研究

• 作者: 刘风琴 周岳亮 奎热西 崔大复 戴守愚 杨国桢 王焕华 钱海杰 陈正豪
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 光电子能谱 光学透过率 脉冲激光沉积薄膜
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质
• 页码范围: 187-191
• 页数: 5页
• 分类号: O4
• 字数: 3550字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2002.01.035

摘要

用X射线光电子能谱和同步辐射光电子能谱研究了Sb掺杂的钙钛矿型氧化物SrTi1-xSbxO3(x=0.05, 0.10, 0.15, 0.20) 薄膜的电子结构.薄膜由紫外脉冲激光淀积在SrTiO3(001)单晶衬底上.该薄膜系列在可见光波段透明,透过率均超过90%.其导电性与掺杂浓度有关,当Sb掺杂浓度x=0.05时, 薄膜显示金属型导电性.X射线光电子能谱和同步辐射光电子能谱研究结果表明, Sb掺杂在母化合物SrTiO3的禁带内引入了浅杂质能级和深杂质能级.浅杂质能级上的退局域化电子离化到导带中会产生一定的传导电子,这是SrTi0.95Sb0.05O3薄膜金属型导电性的起源.杂质带与导带中低的电子态密度限制了跃迁概率和光吸收.大的禁带宽度,小的跃迁概率和弱的光吸收,是该导电薄膜具有较高光学透明度的原因.