低能束作用下衬底上超薄膜背散射电子发射

• 作者: 夏曰源 谭震宇
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 背散射电子 Monte Carlo方法,超薄膜
• 年，卷（期）: 2002,（7）
• 所属期刊栏目: 原子和分子物理学
• 页码范围: 1506-1511
• 页数: 6页
• 分类号: O4
• 字数: 3912字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2002.07.017

摘要

应用Monte Carlo方法模拟千电子伏低能束作用下,不同衬底上不同薄膜背散射电子发射. 应用Mott散射截面和Joy方法修正的Bethe方程描述和计算低能电子在固体中弹性和非弹性散射,引入边界方程,修正穿越薄膜与衬底界面的电子散射路径. 计算分析了薄膜背散射系数η随薄膜厚度D 的变化和规律,以及不同情况下η-D 线性区范围的分布及其定量结果 D max. 计算了背散射电子角分布和空间密度分布.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭震宇	山东大学电气工程学院	32	502	11.0	22.0
2	夏曰源	山东大学物理与微电子学院	4	35	3.0	4.0