溶胶-凝胶VO2薄膜转换特性研究

• 作者: 李金华 林成鲁 袁宁一
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 溶胶-凝胶法 氧化钒薄膜 VO2膜转换特性
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质：结构、热学和力学性质
• 页码范围: 852-856
• 页数: 5页
• 分类号: O4
• 字数: 3033字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2002.04.028

摘要

利用溶胶-凝胶法在SiO2/Si 衬底上沉积高取向的V2O5薄膜,在压强低于2Pa,温度高于400℃的条件下,对V2O5薄膜进行真空烘烤,获得了电阻率变化3个数量级以上、弛豫宽度为6.2℃的VO2多晶薄膜.以X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)图和电阻率转换特性等实验结果为依据,详细分析了溶胶-凝胶薄膜在真空烘烤时从V2O5向VO2的转化,它经历了从VnO2n+1(n=2,3,4,6)到VO2的过程.实验证明,根据选择合适的成膜热处理条件和真空烘烤条件是实现溶胶-凝胶V2O5结构向VO2结构成功转换的关键.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林成鲁	中国科学院上海冶金研究所信息功能材料国家重点实验室	44	595	15.0	23.0
2	李金华	江苏石油化工学院信息科学系功能材料实验室	12	208	7.0	12.0
3	袁宁一	江苏石油化工学院信息科学系功能材料实验室	7	100	4.0	7.0