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摘要:
采用micro-Raman散射、傅里叶变换红外吸收谱和光致发光谱研究了快速热退火及氢等离子体处理对等离子体增强化学气相沉积法200℃衬底温度下生长的富硅氧化硅(SRSO)薄膜微结构和发光的影响.研究发现,在300-600℃范围内退火,SRSO薄膜中非晶硅和SiO x ∶H两相之间的相分离程度随退火温度升高趋于减小;而在600-900℃范围内退火,其相分离程度随退火温度升高又趋于增大;同时发现SRSO薄膜发光先是随退火温度的升高显著加强,然后在退火温度达到和超过600℃后迅速减弱;发光峰位在300℃退火后蓝移,此后随退火温度升高逐渐红移.对不同温度退火后的薄膜进行氢等离子体处理,发光强度不同程度有所增强,发光峰位有所移动,但不同温度退火样品发光增强的幅度和峰位移动的趋势不同.分析认为退火能够引起薄膜中非晶硅颗粒尺度、颗粒表面结构状态以及氢的存在和分布等方面的变化.结果表明不仅颗粒的尺度大小,而且颗粒表面的结构状态都对非晶硅颗粒能带结构和光生载流子复合机理发挥重要影响.
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内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 快速热退火和氢等离子体处理对富硅氧化硅薄膜微结构与发光的影响
来源期刊 物理学报 学科 物理学
关键词 富硅氧化硅 微结构 发光 快速热退火
年,卷(期) 2002,(7) 所属期刊栏目 凝聚物质:结构、热学和力学性质
研究方向 页码范围 1564-1570
页数 7页 分类号 O4
字数 7079字 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:1000-3290.2002.07.027
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研究主题发展历程
节点文献
富硅氧化硅
微结构
发光
快速热退火
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
物理学报
半月刊
1000-3290
11-1958/O4
大16开
北京603信箱
2-425
1933
chi
出版文献量(篇)
23474
总下载数(次)
35
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
国家重点基础研究发展计划(973计划)
英文译名:National Basic Research Program of China
官方网址:http://www.973.gov.cn/
项目类型:
学科类型:农业
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