直流磁控溅射一步法原位制备MgB2超导薄膜

• 作者: 刘乐园 张升原 戴远东 王守证 王昕 王福仁 聂瑞娟 谢飞翔 邓鹏 马平
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 高温超导体 超导薄膜 磁控溅射 二硼化镁
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质
• 页码范围: 406-409
• 页数: 4页
• 分类号: O4
• 字数: 2215字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2002.02.038

摘要

用MgB2靶,控制直流磁控溅射工作在异常辉光放电或弧光放电状态,在SrTiO3衬底上原位一次性得到了MgB2超导薄膜,其起始转变温度为32K,零电阻温度为15K.