溶胶-凝胶法制备BaTiO3/SrTiO3多层膜的介电增强效应

• 作者: 徐润 沈明荣 葛水兵
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 溶胶-凝胶法 多层膜 介电增强
• 年，卷（期）: 2002,（5）
• 所属期刊栏目: 物理学交叉学科及有关科学技术领域
• 页码范围: 1139-1143
• 页数: 5页
• 分类号: O4
• 字数: 3308字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2002.05.040

摘要

采用溶胶-凝胶法,在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上逐层制备了BaTiO3/SrTiO3多层膜.从多层膜的XRD图可看出明显的双峰,分别对应为BaTiO3和SrTiO3的特征峰,表明样品已形成了多层膜结构.与同厚度的Ba0.5Sr0.5TiO3单层膜比较,BaTiO3/SrTiO3多层膜的介电系数得到了明显的增强,在频率为10kHz时,周期为66nm的BaTiO3/SrTiO3多层膜相对于同厚度的Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜的介电系数从245增强到595,而损耗依然保持较低,分别为0.029和0.033.研究同时表明,BaTiO3/SrTiO3多层膜与单层膜的介电频率色散程度、C-V特性和介电系数与温度的关系均略有不同.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈明荣	苏州大学物理系	24	104	6.0	8.0
2	葛水兵	苏州大学物理系	14	103	6.0	10.0
3	徐润	苏州大学物理系	1	6	1.0	1.0