热解碳化学气相沉积中的多重定态和非平衡相变的研究

• 作者: 李贺军 郝志彪 闫桂沈
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 非平衡化学反应 非平衡相变 化学气相沉积 Schlogl模型 热解碳
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:结构、热学和力学性质
• 页码范围: 326-331
• 页数: 6页
• 分类号: O4
• 字数: 4648字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2002.02.023

摘要

讨论在热解碳化学气相沉积过程中出现的多重定态和非平衡相变这一典型的非平衡物理现象的机理和发展趋势.通过理论分析和实验结果的分析发现热解碳化学气相沉积的化学反应是一个典型的非平衡化学反应,其中在沉积过程中出现的生成碳黑的过程是一个典型的非平衡相变.在这一非平衡化学反应中,自由基的反应模型符合Schlogl模型.在这一非平衡化学反应中,有线性区和非线性区,线性区的产物是热解碳,而非线性区是碳黑.在线性区,反应速率方程是唯一的、线性的,而在非线性区,反应速率方程是多重的、非线性的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李贺军	西北工业大学材料科学与工程系	351	3778	28.0	39.0
2	闫桂沈	西北工业大学材料科学与工程系	4	36	3.0	4.0
4	郝志彪	航天科技集团公司第四研究院四十三研究所	6	71	5.0	6.0