基于快速成形的MEMS微制造技术

• 作者: 付建中 潘开林 陈子辰
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 快速成形 微制造 微机电系统 微细立体光刻
• 年，卷（期）: 2002,（20）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 1721-1723
• 页数: 3页
• 分类号: TN6|TH16
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2002.20.004

摘要

评述了当前主要的MEMS微制造技术方法及特点,综述了基于快速成形的MEMS微制造系统的基本原理和基本结构,目前所能达到的精度与应用典型实例,微制造技术的优越性与局限性.对最新发展的每一层面一次曝光的高速快速成形MEMS微制造系统原理与研究示例进行了介绍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈子辰		272	5059	38.0	56.0
2	潘开林		5	214	5.0	5.0
3	付建中		1	8	1.0	1.0