计算机控制CVD金刚石生长系统的研究

• 作者: 卢文状 宋胜利 左敦稳 朱胤 王珉
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: CVD金刚石 计算机控制 金刚石生长系统
• 年，卷（期）: 2003,（6）
• 页码范围: 605-609
• 页数: 5页
• 分类号: TP273
• 字数: 3292字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2003.06.012

摘要

在CVD金刚石生长系统的基础上设计开发了计算机控制系统,对金刚石生长过程中各物理信号进行监测与控制,实现了无人值守下金刚石的生长.详细介绍了计算机控制的结构和软件实现方法.最后介绍了在计算机控制之下金刚石厚膜,纳米金刚石薄膜以及复合膜的生长.结果表明该系统运行稳定、可靠,控制效果明显优于人工控制,具有非常广泛的应用价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	左敦稳	南京航空航天大学机电学院	510	3780	26.0	32.0
2	王珉	南京航空航天大学机电学院	205	2631	27.0	40.0
3	朱胤	南京航空航天大学机电学院	4	20	3.0	4.0
4	卢文状	南京航空航天大学机电学院	1	6	1.0	1.0
5	宋胜利	南京航空航天大学机电学院	9	144	6.0	9.0