镀膜机的微机控制

• 作者: 关秉羽 李国卿 汪思源 陈玲玲 黄开玉
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: PLC 镀膜 微机控制
• 年，卷（期）: 2003,（6）
• 所属期刊栏目: 专题论述
• 页码范围: 24-26
• 页数: 3页
• 分类号: TP273
• 字数: 2232字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2003.06.007

摘要

设计了磁控溅射-多弧镀膜机的微机控制系统,采用PLC可编程控制器与上位机进行数据传递和控制设备的控制方式.本微机控制系统中的真空镀膜机,设计了3套孪生磁控、10套多弧和8级工艺的过程控制,具有自动组合工艺和自控程序升级功能,从而实现多种工艺的镀膜要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪思源		51	243	8.0	13.0
2	李国卿	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	58	411	12.0	16.0
3	黄开玉	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	7	53	4.0	7.0
4	陈玲玲	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	4	31	4.0	4.0
5	关秉羽		4	27	3.0	4.0